エア・ウォーター、世界初の大面積8インチSiC基板を量産 LEDなどの低コスト化に期待
エア・ウォーター(大阪市中央区)は、パワー半導体やLED照明(発光ダイオード)向け下地基板として、世界で初めて高品質なシリコンカーバイト(SiC)基板を最大8インチまで生産できる技術を開発し、量産を開始する。
今回開発したのは、安価なSi(シリコン)基板を用いて、その表面上に高品質SiC単結晶薄膜を量産する技術。SiC基板を大面積化することで、顧客のデバイス製造時の低コスト化に貢献することができるという。
続きは無料の会員登録(必須情報入力)後にお読みいただけます。
- 環境対策・環境推進に役立つニュース記事が読める
- 平日毎朝、自分の興味に合った最新ニュースをメールで受け取れる
- 有料記事などに使えるポイントを貯められる
- クリッピング機能で要チェック記事をストックできる