ウシオ電機、LED光を高効率で平行光に変換 リソグラフィプロセス用途に来夏製品化

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※画像はイメージです
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ウシオ電機は、特殊なレンズを用いて、LEDから出た光を高効率で平行光に変換する光学技術(LEDコリメーション技術)の開発に成功し、業界最高の平行光変換効率90%を実現したと発表した。

今後、この技術を搭載したLED照射システムの開発を進め、半導体や微小電気機械素子製造におけるリソグラフィプロセスなど、光強度の高い平行光が必要な用途に向け、2014年夏以降に製品化する予定。

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