カーボンナノチューブを使った集積回路の配線が新開発 1ケタ以上低い抵抗

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※画像はイメージです
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産業技術総合研究所は、高温合成による高品質なカーボンナノチューブ(CNT)を用いて配線を作製する技術を開発したと発表した。また、本技術を用いた新規CNT配線は、従来のカーボンナノチューブ配線より1桁以上低い抵抗を実現した。大規模集積回路(LSI)の配線やシリコン貫通電極への応用が期待される。

今回、産総研が開発したのは、1次元ナノカーボン材料であるカーボンナノチューブ(CNT)を利用した新たな配線作製技術。CNTは、直径がおよそ1~100nm(10億分の1メートル)、長さがおよそ1~数10µmで、炭素原子が平面上で蜂の巣格子状に並んだ構造を持つグラフェン(炭素原子のシート)が丸まって筒になった構造をしている。丸まった時のグラフェンの方位や直径により、金属や半導体となる。

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