サムコ、「ペロブスカイト太陽電池」向け成膜装置を京都大学に納入

サムコ（京都府京都市）は5月19日、京都大学化学研究所 若宮研究室にペロブスカイト太陽電池向けALD（原子層堆積）装置を納入したと発表した。

ペロブスカイト太陽電池は、光電変換効率の高い次世代太陽電池として期待されており、世界中で研究開発が進められている。今回納入したALD装置（型式AL－1WG）は、容積を小さくし、ガス消費を抑えた効率的な反応室構造を採用したという。オープンロード（反応室開閉）式の装置にグローブボックスを装備し、大気にさらすことなく試料の出し入れができる。