川崎重工、薄膜太陽電池を画期的な速度で加工する新装置を開発

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川崎重工は、主に薄膜太陽電池の製造に用いるレーザパターニング装置を開発した。薄膜太陽電池は、ガラス基板の表面に透明電極膜、半導体膜(発電層)、金属膜等が積層されており、それぞれの膜を積層する過程において、回路を形成するためのスクライブ(溝切り)加工を行うパターニング装置が使われている。

現状のパターニング装置のスクライブ速度は2,000mm/sec程度で、太陽電池の低コスト化のためのさらなる高速化と、発電効率向上のためのスクライブ線の高品質化が期待されている。

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