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温室効果ガスに指定された「三ふっ化窒素」 排出量算定に使う係数など公布

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法改正により温室効果ガスの種類として追加された「三ふっ化窒素」の排出量の算定に用いる係数等を定める改正省令が4月30日に公布・施行された。

新しく定められた三ふっ化窒素の製造・半導体素子などの製造における三ふっ化窒素の排出係数の値は下記の通り。

三ふっ化窒素の製造

0.017

半導体素子等の製造

半導体素子若しくは半導体集積回路の加工の工程におけるドライエッチング又はこれらの製造装置の洗浄に際して、

  • リモートプラズマ源を用いた技術を利用する方法を用いている場合 0.02
  • リモートプラズマ源を用いた技術を利用する方法を用いていない場合 0.20

液晶デバイスの加工の工程におけるドライエッチング又はこの製造装置の洗浄に際して、

  • リモートプラズマ源を用いた技術を利用する方法を用いている場合 0.03
  • リモートプラズマ源を用いた技術を利用する方法を用いていない場合 0.30

温室効果ガスの種類に三ふっ化窒素を追加するなどした地球温暖化対策の推進に関する法律の一部を改正する法律、および三ふっ化窒素の温室効果ガス算定排出量の算定方法等を追加するなどした地球温暖化対策の推進に関する法律施行令の一部を改正する政令が、4月1日から施行されている。

今般の改正は、これらの法令の施行を踏まえ、施行令の別表において省令委任している係数の値等を定めるもの。

【参考】
環境省 - 特定排出者の事業活動に伴う温室効果ガスの排出量の算定に関する省令及び温室効果ガス算定排出量等の集計の方法等を定める省令の一部を改正する省令の公布について

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