アミタ、福岡でシリコンスラリー廃液のリサイクル開始　半導体の増産ニーズ拾う

アミタ（東京都千代田区）は11月27日、半導体の製造過程で発生するシリコンスラリー廃液のリサイクルを進めるため、同社リサイクル施設の「北九州循環資源製造所」にて、同廃液を資源化する事業を11月20日より開始したと発表した。設備投資額は約1億6000万円。

この事業は、同製造所に減圧蒸留設備を導入し、シリコンスラリー廃液の各種原料化を実施するもの。具体的には、西日本の半導体製造企業が排出する廃液を減圧蒸留によって固液分離し、シリコンを含有するリサイクル製品・蒸留グリコール液などを製造・販売する。シリコンを含有するリサイクル製品は金属原料として、蒸留グリコール液はグリコール代替原料としてユーザー企業に使用される。同設備の処理能力は月間約120トン。