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環境 新製品:R2R(ロール・ツー・ロール)ゲートバルブ/ブイテックス

環境ビジネス編集部

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フイルム状太陽電池の良品率アップ
空気漏れが1/10以下の真空バルブ

特殊バルブの開発・生産のブイテックスが、高い真空性を維持できる真空バルブ、「R2R(ロール・ツー・ロール)バルブ」を開発した。新開発のバルブは太陽電池の製造装置向けで、フイルム状太陽電池の良品率向上に役立つと期待されている。

R2R(ロール・ツー・ロール)ゲートバルブ

太陽電池の製造過程には、蒸着、エッチング、CVDなど、フイルムなどに真空処理を行う技術がある。しかし、従来のロールからロールへフイルムを送る装置では、フイルムが処理チャンバ間を連続して搬送され、一つ一つの処理チャンバを仕切ることができなかった。そのため、フイルム基盤を挟み込んだ隙間から空気が漏れて真空を保てなかった。

この状態を改善する方法には装置全体を真空にする手法がある。だが、余分なエネルギーが必要となり非効率的なうえ、成膜加工室に存在する複数のガスが混ざり、成膜に悪影響を与えるという問題があった。
そこでブイテックスでは、フイルムをはさんだ状態でも真空保持が可能なバルブの開発に踏み切った。

R2Rバルブは、真空状態で成膜する装置の出入り口に設置するゲートバルブ。通常は金属とゴムからなるが、独自開発の口唇に似た形のフッ素ゴム製パッキンを採用した。パッキンがシリンダーを使って挟むことでバルブの役目を果たし、従来品と比べて空気漏れは10分の1以下に抑えることができた。
それにより、チャンバ仕切りが可能となり、フイルム状基盤を巻き取りながら連続成膜できる。また、ゴム材同士で挟むため、フイルムにダメージも加えない。その結果、生産効率の大幅な向上につながった。

価格はゲートの幅により異なるが、1台150万円程度。ブイテックスでは今後、更なるコストダウンと長寿命化、フイルム幅の大型化に取り組んでいく方針だ。

 
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