環境 新製品：太陽電池製造装置／ノア

半導体事業から太陽電池事業へ
高性能で操作が簡単な、シリコン太陽電池製造装置を販売

ノアは米国アムテック・システムズ社と日本市場での販売契約を結び、日本における販売総代理店となる。アムテック社は今回のノアとの提携によって日本市場への参入を果たす。
当面は国内大手太陽電池メーカー向けに、結晶シリコン太陽電池製造ラインでシリコンウエハー表面に不純物拡散を行う全自動横型拡散炉と、反射防止膜(ARC)生成用プラズマCVD装置を販売する。

これらの装置は、アムテック社の子会社でオランダに拠点を置くテンプレス・システムズ社が製造している。中でも横型拡散炉は、テンプレス社の40年にわたる半導体業界における経験と実績を元に欧米やアジアの太陽電池市場で販売を展開しており、導入が増えている。
ノアによると、テンプレス社製の横型拡散炉は、高い歩留まり品質を保つと同時に高い処理能力をもち、処理にかかる工程や時間が短いうえ、操作も簡単だという。また、ウエハーの自動搬送機構は、同社独自のソフトコンタクト・ローディング(SCL)機構を採用。拡散炉内の完全密閉構造と圧力制御機能により、年間を通して安定したプロセスを実現する。
横型拡散炉と反射防止膜生成装置の価格は1台あたり1億円から3億円。ノアでは初年度5億円の販売を見込んでいる。