大日本スクリーン・岐阜大学　次世代型薄膜太陽電池の解析技術を開発

大日本スクリーン製造と岐阜大学は、薄膜シリコン太陽電池パネルのアモルファスシリコン膜特性を解析する新技術を開発した。本研究成果を大日本スクリーンが手掛ける「分光エリプソ式膜厚測定装置」に搭載して、今秋の実用化を目指す。同社は、2012年までに太陽電池事業を50億円規模に拡大する方針で、本装置がその牽引役になると考えている。

薄膜シリコン太陽電池は、ガラスなどの基板上に少量のシリコンを蒸着させて製造するため、量産性とコストパフォーマンスに優れた次世代型太陽電池として、大規模太陽光発電システム（メガソーラー）などでの需要拡大が期待されている。しかし、製造過程で取り込まれる過剰な水素が発電効率の低下の原因となっており、電池パネルの性能や安定性の向上、生産の合理化に向けて、製造時において水素含有量を正確に解析する技術の確立が急務とされていた。