昭和電工は、水処理工程が不要な乾式のハイブリッドシステムにより、処理能力の増加とランニングコストの削減を実現するPFC分解装置「HB-3000」を開発し、2012年中に販売を開始する。
液晶パネルや半導体のエッチング工程で使用される「PFC（パーフルオロカーボン）」は、地球温暖化係数の高い温室効果ガスで、使用後排出の際に分解処理する必要がある。分解方法には「化学反応方式」と「触媒方式」があるが、ハイブリッドシステムを採用した同製品は、両方式の利点を融合したもの。
「化学反応方式」は、排水処理が不要でCO2排出量も少ないのが特長だが、PFC分解と分解時発生するフッ素分固定を同時に行う高性能の反応剤を用いるため、ランニングコストがかかるとともに、反応剤充填容器の容量制限により、処理できる排ガス量は毎分200リットル程度までに限られる。一方「触媒方式」は、PFCを触媒分解し、分解生成したフッ素分を水に吸収させるシステムで、ランニングコストが安く大型化による大量の排ガス処理が可能となるが、排水等の後処理が必要になる。
今回「触媒方式」におけるフッ素分除去工程を、安価なカルシウム系の反応剤を用いて乾式化することに成功した。「HB-3000」の特長は、以下の通り。
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