昭和電工の温暖化ガス分解装置 処理能力増加 コスト削減を実現

昭和電工は、水処理工程が不要な乾式のハイブリッドシステムにより、処理能力の増加とランニングコストの削減を実現するPFC分解装置「HB-3000」を開発し、2012年中に販売を開始する。

液晶パネルや半導体のエッチング工程で使用される「PFC（パーフルオロカーボン）」は、地球温暖化係数の高い温室効果ガスで、使用後排出の際に分解処理する必要がある。分解方法には「化学反応方式」と「触媒方式」があるが、ハイブリッドシステムを採用した同製品は、両方式の利点を融合したもの。