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エア・ウォーター、世界初の大面積8インチSiC基板を量産 LEDなどの低コスト化に期待

エア・ウォーター(大阪市中央区)は、パワー半導体やLED照明(発光ダイオード)向け下地基板として、世界で初めて高品質なシリコンカーバイト(SiC)基板を最大8インチまで生産できる技術を開発し、量産を開始する。

今回開発したのは、安価なSi(シリコン)基板を用いて、その表面上に高品質SiC単結晶薄膜を量産する技術。SiC基板を大面積化することで、顧客のデバイス製造時の低コスト化に貢献することができるという。

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