世界最大級の単結晶ダイヤモンド、作成成功 次世代パワー半導体の新材料に

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ガスから作製した1立方センチ級単結晶ダイヤモンド(左)と現在市販されている高温高圧法を用いて作製される単結晶ダイヤモンド基板(右)
ガスから作製した1立方センチ級単結晶ダイヤモンド(左)と現在市販されている高温高圧法を用いて作製される単結晶ダイヤモンド基板(右)

産業技術総合研究所(産総研/東京都千代田区)は3月20日、世界で初めて、ガスからクラックのない1立方センチ級単結晶ダイヤモンドの作製に成功したと発表した。

この成果について産総研は、合成面積のスケールアップが容易なガスを原料とする手法により世界最大級の高品質結晶を作製できたことから、半導体の大型ウエハー実現につながる大きな一歩になると評価している。

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