NECファシリティーズ、半導体廃水処理の環境負荷低減を目指す実証試験実施

NECファシリティーズ（東京都港区）は12月23日、栗田工業（同・中野区）と、顧客工場のルネサス セミコンダクタ マニュファクチュアリング西条工場（愛媛県西条市）におけるフッ素含有廃水処理の環境負荷低減を目指した実証試験の結果を発表した。半年間の実証運転を通じて、廃水処理薬剤35％（CO2排出量換算44トン／年相当）の削減、廃水処理後に排出される処理汚泥4％（29トン／年）の削減に貢献した。

今回の実証試験は、半導体フッ素含有廃水処理における廃水処理薬剤と、処理に伴って排出される廃水処理汚泥の削減を目的として行ったもの。3社が協力・連携することで、半導体製造施設の廃水処理における処理薬剤（フッ素系廃水処理における凝集剤／硫酸アルミニウム）と処理汚泥量を削減し、これらの運転コスト年間約300万円の削減を実現するという。