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ウシオ電機 世界初の環境技術で、超高圧UVランプの省エネ・省CO2実現

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FPD露光用大出力タイプ(25kW)ウシオ電機は、超高圧UVランプにおける環境技術「フル/ハーフ点灯方式」の実用化に世界で初めて成功した。

同技術の特長は、露光に必要な性能を損なうことなく、電気入力を稼動時は100%に、待機時は50%に抑えるという、2段階の切り替えができる点だ。従来型と比べて消費電力およびCO2排出量を40%削減できる。2011年4月より、環境効果が最も期待できるFPD露光用大出力タイプ(25kW)の販売を開始し、以降、各種用途向けにも順次製品化する予定だ。

超高圧UVランプは、主に半導体や液晶、プリント基板などの光源として、各種の露光装置に搭載されている。環境負荷の低減が課題となるなか、ランプメーカ各社では、ランプの環境性能向上に向けた省電力化とCO2排出削減の試みが行なわれてきた。しかし、構造が特殊であることに加え、照度や輝度、寿命などの性能を維持するためには、照射が不要な時でも常に100%の電気入力を保たなければならず、改良が非常に困難だった。今回開発された新技術では、2段階の入力切り替えができるため、この問題点が解消された。

25kWの超高圧UVランプを20本使用している製造ラインの場合、消費電力量で年間約204万kWh(電気代で約2640万円)、CO2排出量で年間約780tの削減が可能となる。また、ランプの総放射熱量も抑えられるため、露光装置や冷却ユニットの小型化が容易となり、トータルコストも削減できるという。

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