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新菱冷熱工業、ケミカルフィルタ不要の電解水エアワッシャーシステム開発

電解⽔エアワッシャーシステム内のプリーツ状メディア

新菱冷熱工業(東京都新宿区)は1月9日、半導体・液晶工場などの製造環境向け「電解水エアワッシャーシステム」を開発したと発表した。外気に含まれる酸性ガスを除去するニーズに対応。

同社は今後、同システムの国内・海外の製造施設への展開を見込み、同製品と関連施設を含め、3年で100億円の売上を目指す。

半導体デバイスなどの一層の高集積化・大容量化が進むにつれ、より高性能・低コストな空調システムのニーズが高まっているという。開発した「電解水エアワッシャーシステム」は、工場内のクリーンルーム用に、外気から塵埃や分子状汚染物質を除去して空気質を調整する一次段階の空調機に実装するシステム。外調機に設置されるケミカルフィルタ(CF)を使用せずとも、酸性ガスが除去される。

同社は、エアワッシャーの吸収液に電解水を用い、同社が開発したプリーツ型メディア(特許第5137878号)で空気と電解水の接触効率を向上させるしくみを開発した。その他、外気中の酸性ガス濃度の変動を検知し、最適な電解水量を供給する制御機構も開発、実装した。

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従来型と電解⽔エアワッシャーシステム実装型の外調機構成の違い

高い除去率と環境配慮を両立

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