
日本ガイシは、独自に改良した結晶育成技術を用いて欠陥を大幅に低減し、緑色LED(発光ダイオード)の発光効率を従来比約2倍に高める高品質な窒化ガリウム(GaN)ウエハーを開発した。同製品は、単結晶育成技術である液相成長法を独自に改良することで、直径2インチのウエハー全面にわたる低欠陥密度と無色透明の両立を実現したのが特長。
今年4月25日に発表した青色LED用途に続いて、今回、緑色LED用途もめどが立ったことから、同社は今後、ハイブリッド自動車や電気自動車用のインバーター、無線通信基地局用パワーアンプなどのパワーデバイス用途も視野に入れ、GaNウエハーのさらなる欠陥密度の低減と直径6インチ以上の大口径化を進めていきたい考えだ。
すでに直径2インチのサンプルの出荷を開始しており、2012年中に4インチのサンプル出荷も開始。製造能力を現在の月産200枚(直径2インチ換算)から2012年度中に月産1000枚以上に引き上げる予定。2014年までに、LED用途やパワーデバイス用途に向けて直径2インチから6インチまで幅広い製品ラインアップをそろえる計画。
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