島津製作所、太陽電池セルのPID耐性を向上させる成膜装置を開発

島津製作所は、結晶シリコン型太陽電池セル生産プロセス向けに、反射防止膜成膜装置「MCXS」と検査装置「SCI」を発売する。

「MCXS」は、新開発のホローカソードプラズマソースとダイレクトプラズマの採用により、高スループットで低ランニングコスト、かつ高いPID耐性を有する反射防止膜を成膜するプラズマCVD装置。高密度プラズマが基板の表面や内部に存在する結晶欠陥を修復し、太陽電池の特性を改善させるため、高変換効率化にも貢献する。価格は1億7千万円。初年度20台の販売を目指す。