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ウシオ電機、LED光を高効率で平行光に変換 リソグラフィプロセス用途に来夏製品化

ウシオ電機は、特殊なレンズを用いて、LEDから出た光を高効率で平行光に変換する光学技術(LEDコリメーション技術)の開発に成功し、業界最高の平行光変換効率90%を実現したと発表した。

今後、この技術を搭載したLED照射システムの開発を進め、半導体やMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)製造におけるリソグラフィプロセスなど、光強度の高い平行光が必要な用途に向け、2014年夏以降に製品化する予定。

コリメーション技術とは、特殊なレンズやミラーなどの光学系を用いて、ランプなどの光源から放射された拡散光を平行光に変換する技術。平行光は、微細処理が求められる半導体やMEMSなどの製造工程における、リソグラフィプロセスに必要不可欠な光となっている。

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